Leuven Instruments

Jiangsu Leuven Instruments Co., Ltd.はBelgian Leuven Instruments (ベルギー)とInstitute of Microelectronics of the Chinese Academy of Sciences(中国科学院マイクロエレクトロニクス研究所)の共同出資により設立されたエッチング装置メーカーです。

反応性イオンエッチング装置(RIE)、誘導結合プラズマ (ICP)エッチング装置、イオンビームエッチング装置(IBE)等のドライエッチング装置など各種取り揃えております。

マグネティックレイヤーエッチングクラスターシステム

マグネティックレイヤー
エッチングクラスターシステム
LMEC-300
Wafer Size: 300mm

ICPエッチング装置

ICPエッチング装置
Inductively Coupled Plasma Etching System
Wafer Size: 50mm ~ 200mm

RIE、IBE、PECVDチャンバーを一つの真空制御装置に統合など各種カスタマイズも対応可能。
ご要望・お見積もりなど、お気軽にご相談ください。
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お問い合わせ

日星産業株式会社
機能材料第一営業部 先端機材G

〒103-0023 東京都中央区日本橋本町1-10-5 日産江戸橋ビル3F